Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
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Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen

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Full Title

Mikrosystemtechnik Prozessschritte, Technologien, Anwendungen
Author(s)

Ulrich Hilleringmann
Edition
ISBN

9783835190221, 9783835100039
Publisher

Vieweg+Teubner Verlag
Format

PDF and EPUB

Description

Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erläutert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die möglichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberflächenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilität zur Mikroelektronik bewertet.

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