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Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen 1st Edition

SKU: 9783486594119

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Additional information

Full Title

Lehrbuch Mikrosystemtechnik Anwendungen, Grundlagen, Materialien und Herstellung von Mikrosystemen 1st Edition

Author(s)

Norbert Schwesinger, Carolin Dehne, Frederic Adler

Edition

1st Edition

ISBN

9783486594119, 9783486579291

Publisher

De Gruyter Oldenbourg

Format

PDF and EPUB

Description

Nach der Vermittlung der mechanischen und fluidischen Grundelemente werden zunächst die sensorischen, generatorischen, aktorischen und mehrstufig sensorischen Wandler beschrieben. Es folgen Kapitel zu den Materialien in der Mikrosystemtechnik sowie zu Herstellungsverfahren für Mikrokomponenten, bevor die Konfektionierung der Mikrokomponenten erläutert und ein Einblick in die Mess- und Prüftechnik von Mikrosystemen gegeben wird. Abschließend werden Entwurf und Entwicklung von Bauelementen, die Umsetzung von Wirkprinzipien und der effektive Materialeinsatz diskutiert. Zu allen Kapiteln und größeren Abschnitten gibt es Zusammenfassungen, eine Übersicht über wichtige Schlüsselbegriffe sowie Hinweise auf weiterführende Literatur. Dadurch ist ein effizienter Einsatz des Buchs als Lehr- und Nachschlagewerk garantiert.